等離子線

等離子體線-可伸縮等離子


       雙等離子體是一種不需要磁場的直接微波等離子體源。簡單地說,它的工作原理就像被微波激發的反向發光管。典型的雙質體是在低壓下工作,大約從1000pa到10pa。

       由兩個磁控管產生的頻率為2.45 GHz的微波被送入兩端的等離子線。放電在外低壓區點燃,隨著微波功率的增加,等離子體沿管道兩端生長,形成軸向均勻的等離子體。

       這種雙等離子體的組合可用于獲得二維等離子體陣列。單源及2、4、8平行排列的等離子體可用于表面活化、刻蝕、沉積等等離子體輔助表面處理。

京公網安備 11011102001014號

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